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(不是狗狗的小黑), 看板: chemistry
標 題: Etching paste 蝕刻膠 - 使用網版印刷除 SiO2, SiNx, ITO 之方式, 應用
發信站: 中山計中美麗之島 (Sat Feb 3 09:24:00 2007)
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Origin: bbs.nsysu.edu.tw
前所使用之蝕刻濕製程, 共需要10站
1). 清洗段 2). IR 3). UV 4). Coater 5).真空乾躁 6). 預熱 7). 曝光
8.) 顯影 9). 蝕刻 10). 去膜
其中 coater + 真空乾躁 + 預熱 + 曝光 共四站需在無塵室製作
缺點為: 1. 高機台成本 2. 機台面積過大 3. 無塵室興建成本過高
4. 大尺寸面板製作難
若改用蝕刻膏 etching paste 製程, 則只需要4站
1). 清洗段 2). 網印機 3). 加熱段 4). 水洗機
優點為: 1. 低機台成本 2. 機台面積小 3. 不需無塵室
4. 大尺寸面板製作容易
估計相同投資金額下, 蝕刻膏製程的產出, 可為5倍傳統黃光濕製程.
且蝕刻膠成本比光阻還要便宜, 因此藥品支出可以節省一倍以上.
蝕刻膏製程可應用於
1. TFT產業 - ITO 導電玻璃蝕刻
2. 太陽電池產業 - SiO2/SiNx 蝕刻
目前蝕刻均採用雷射乾蝕刻或化學濕蝕刻, 均有步驟太多, 機台太貴與
需無塵環境. 若改用具蝕刻效果之黏性蝕刻膏, 網版印刷後蝕刻膠將與
材料反應, 就可選擇將不需要的部份移除. 步驟因此可大幅簡化.
比較如下:
1. 傳統濕蝕刻(黃光室製程)
清洗- UV - IR - 光阻塗佈 - 真空乾躁 - 預熱 - 曝光 - 顯影 - 蝕刻
- 去膜 (10步驟)
2. 雷射乾蝕刻 (昂貴, 慢)
清洗 - 雷射蝕刻
3. 蝕刻膠蝕刻
清洗 - 網印 - IR烘烤 (160C/2min) - 水洗 (4步驟)
優點:
(1) 場地無需黃光室, 一般環境加抽風即可操作
(2) 網印機比曝光機或雷射機便宜許多倍
(3) 無光學機台, 純機悈操作, 保養簡單
(4) 印刷同時可檢查是否線路有異常
(5) 蝕刻膠比光阻便宜
(6) 網版比光罩便宜
(7) 網版相對光罩而言, 有大尺寸製作之優勢
(8) 反應溫度大於100C, 可大幅減少反應時間
(9) 網版清洗使用水即可, 減少人員之不適
何謂蝕刻膠, 簡單來說, 將具有蝕刻能力之藥品製作成可網版印刷的方式
稱之.
蝕刻膠之製程能力:
(1) 最小線寬: 100 um
(2) 最小線距: 100 um
(3) 網版: 300 mesh
製作步驟為版面清洗後, 使用網印機將蝕刻膠刷在基版表面, 再使用
IR烤箱烘烤160C, 2 min, 最後將蝕刻膠用水清洗即可, 很簡單.
蝕刻膠黏度為30000 cp, 將蝕刻液體變成蝕刻膠有三種方式:
(1) 加入界面活性劑
(2) 加入增黏劑
(3) 加入固型物
目前已經開發成功可以蝕刻 ITO, SiNx, SiO2 之酸性蝕刻膠,
並有少量樣品完成.
有興趣想要知道更多內容的人, 可以與我聯絡...
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